CNC-Bearbeitung für Halbleiteranlagen
In der Halbleiterfertigung entscheiden Sauberkeit, Dimensionsstabilität und Vakuumtauglichkeit über Ausbeute und Anlagenverfügbarkeit. ProtoTech fertigt Bauteile, die diese Anforderungen erfüllen — vom Einzelteil bis zur kleinen Serie.
Wir fertigen Vakuumkammern, Medien- und Gasverteiler, Wafer-Handling-Teile, elektrostatische Aufnahmen und Präzisionsplattformen aus 316L-Edelstahl, Aluminium und technischen Kunststoffen wie PEEK.
CNC-Bearbeitung · Präzisionsbearbeitung · Edelstähle
Bauteile, die wir fertigen
| Bauteil | Beschreibung |
|---|---|
| Vakuumkammern und -komponenten | Kammerteile, Flansche, Adapterelemente |
| Medien- und Gasverteiler | Manifold-Blöcke, Ventilaufnahmen |
| Wafer-Handling | Arme, Greifer, Positionierelemente |
| Elektrostatische Aufnahmen | Chuck-Komponenten, Isolierteile |
| Präzisionsplattformen | Basisplatten, Führungen, Träger |
Werkstoffe — Metalle und Kunststoffe
Halbleiteranlagen verlangen vakuumtaugliche, partikelarme und chemikalienbeständige Werkstoffe. ProtoTech fertigt 316L-Edelstahl und Aluminium für Strukturen sowie technische Kunststoffe (PEEK, PVDF, PTFE) für isolierende, chemikalienbeständige und elektrostatische Bauteile.
Edelstähle · Kunststoffbearbeitung
Fertigungsmöglichkeiten
- 5-Achs-Bearbeitung — komplexe Kammern und Verteiler in einer Aufspannung → 5-Achs-Bearbeitung
- CNC-Drehen — Wellen, Bolzen, Gewindeteile → CNC-Drehen
- Präzisionsbearbeitung — wiederholbar im Bereich ±0,005 mm → Präzisionsbearbeitung
- Kunststoffbearbeitung — PEEK, PVDF, PTFE → Kunststoffbearbeitung
Qualität, Prüfung und Rückverfolgbarkeit
Für Gerätehersteller bedeutet ein fehlerhaftes Bauteil eine fehlerhafte Maschine im Feld. ProtoTech liefert Maßprüfung, Prüfprotokolle, Materialzertifikate und vollständige Rückverfolgbarkeit — damit Ihr Qualitätsteam uns für die wiederkehrende Serienfertigung qualifizieren kann.
Unsere hauseigene Messtechnik umfasst eine Zeiss-Koordinatenmessmaschine (KMU) für die vollständige Maßprüfung und Erstmusterprüfung (FAI) sowie ein Tisch-Materialspektrometer zur Verifikation des eingehenden Materials gegen die vorgegebene Güte. Jede Lieferung kann mit Materialzertifikaten nach EN 10204 3.1 und chargenweise Rückverfolgbarkeit geliefert werden, abgesichert durch ISO 9001:2015 (AENOR).
Vom Prototyp bis zur wiederkehrenden Serienfertigung
- Prototyp — Erstmuster und Konstruktionsvalidierung
- Vorserie — kleine Lose vor dem Hochlauf
- Wiederkehrende Fertigung — terminierte Belieferung mehrerer Teilenummern
- Serienfertigung — Mengenbelieferung mit stabilen Lieferzeiten
Warum ProtoTech — ein Präzisionspartner, kein CNC-Betrieb
Präzision
Enge Toleranzen, komplexe Geometrien, wiederholbar über Chargen.
Engineering
DFM-Feedback und Werkstoffauswahl durch unser Engineering-Team.
Spezialwerkstoffe
PEEK / PVDF / PTFE / Kovar / Sonderlegierungen hausintern gefertigt.
Qualität
Prüfprotokolle, Materialzertifikate, vollständige Rückverfolgbarkeit.
Stabile Fertigung
Berechenbare Lieferzeiten für wiederkehrende Aufträge.
Langfristige Lieferung
Von der Projektentwicklung bis zur dauerhaften Produktion.
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